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激光功率衰減器技術(shù):紫外激光可調(diào)功率解決方案

2026-01-12

一種激光功率衰減器

一、激光功率衰減器核心技術(shù)解析

(一)整體結(jié)構(gòu)設(shè)計

激光功率衰減器由激光器衰減器兩大核心模塊組成,二者實(shí)現(xiàn)光學(xué)連通——激光器提供沿預(yù)選光路傳送的特定光束,衰減器則負(fù)責(zé)對光束進(jìn)行不同程度的精準(zhǔn)衰減,最終輸出符合實(shí)際需求的激光功率。其中,衰減器作為核心調(diào)節(jié)單元,集成了偏振旋轉(zhuǎn)器、雙色鏡、旋鈕、保護(hù)罩及可調(diào)器件五大關(guān)鍵部件,各組件協(xié)同工作,確保功率調(diào)節(jié)的穩(wěn)定性與精準(zhǔn)度。


(二)關(guān)鍵部件功能詳解

激光器:采用紫外激光器,可輸出高偏振對比度的線性偏振紫外激光束,為后續(xù)功率調(diào)節(jié)提供穩(wěn)定的光源基礎(chǔ),適配各類對紫外激光有需求的精密應(yīng)用場景。

偏振旋轉(zhuǎn)器:核心采用半波片設(shè)計,與衰減器上的旋鈕直接相連,通過旋轉(zhuǎn)旋鈕即可調(diào)節(jié)半波片的“C”軸角度(調(diào)節(jié)范圍0°-45°),進(jìn)而將入射紫外光束的偏振態(tài)從0°旋轉(zhuǎn)至90°,這一設(shè)計是實(shí)現(xiàn)功率連續(xù)調(diào)節(jié)的核心前提。

雙色鏡:表面經(jīng)過特殊鍍膜處理,具備“透射P偏振光束、反射S偏振光束”的特性,且以布魯斯特角取向安裝,確保偏振分離的高效性。在不同實(shí)施例中,雙色鏡還可與其他鏡片配合,進(jìn)一步優(yōu)化光束傳輸與功率調(diào)節(jié)效果。

可調(diào)器件:作為靈活適配不同場景的核心組件,提供多種配置方案,包括單一光束阻擋件、可選位移補(bǔ)償器、光束阻擋件+雙色鏡組合、光束阻擋件+多組雙色鏡組合等,可根據(jù)實(shí)際應(yīng)用需求選擇適配方案。

保護(hù)罩:設(shè)于衰減器外圍,且在罩體上增設(shè)光束阻擋件,能有效阻擋光束意外透射,尤其可防止紫外光束外泄,保障設(shè)備操作安全。


(三)核心工作原理

紫外激光器輸出的線性偏振光束首先入射至偏振旋轉(zhuǎn)器(半波片),通過旋鈕調(diào)節(jié)半波片角度,改變光束偏振態(tài);調(diào)整后的光束被導(dǎo)向雙色鏡,經(jīng)鍍膜處理的雙色鏡將P偏振光束與S偏振光束分離——P偏振光束可直接透射,S偏振光束則被反射;分離后的光束再通過可調(diào)器件進(jìn)行后續(xù)處理(如補(bǔ)償光束偏移、二次偏振分離或安全阻擋),最終輸出所需功率的激光束。整個過程通過偏振態(tài)調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)功率精準(zhǔn)控制,無需復(fù)雜的電路干預(yù),具備調(diào)節(jié)便捷、響應(yīng)迅速的優(yōu)勢。



二、多維度實(shí)施例設(shè)計與性能對比

為適配不同應(yīng)用場景的需求,本激光功率衰減器提供多種實(shí)施例設(shè)計,各方案在結(jié)構(gòu)配置與性能表現(xiàn)上各有側(cè)重,以下結(jié)合具體圖示詳細(xì)解析:

(一)基礎(chǔ)實(shí)施例:光束直接分離方案

激光功率衰減器基礎(chǔ)實(shí)施例結(jié)構(gòu)框圖 - 廣西科毅光通信

圖1 激光功率衰減器基礎(chǔ)實(shí)施例結(jié)構(gòu)框圖


該方案中,可調(diào)器件僅配置光束阻擋件。紫外激光經(jīng)偏振旋轉(zhuǎn)器調(diào)節(jié)偏振態(tài)后,入射至雙色鏡:P偏振光束直接透射作為輸出,S偏振光束被反射至光束阻擋件安全攔截。此方案結(jié)構(gòu)簡潔,操作便捷,最大輸出功率可達(dá)入射功率的96%,適用于對功率調(diào)節(jié)范圍要求適中、追求設(shè)備精簡的場景。


(二)偏移補(bǔ)償實(shí)施例:光束路徑校準(zhǔn)方案

激光功率衰減器偏移補(bǔ)償實(shí)施例結(jié)構(gòu)框圖 - 廣西科毅光通信

圖1 激光功率衰減器偏移補(bǔ)償實(shí)施例結(jié)構(gòu)框圖 - 廣西科毅光通信

針對光束通過雙色鏡后可能產(chǎn)生的路徑偏移問題,該方案在雙色鏡后增設(shè)可選位移補(bǔ)償器(優(yōu)選未鍍膜的紫外級熔融石英),用于校準(zhǔn)光束偏移,確保輸出光束路徑與入射路徑的一致性。同時,位移補(bǔ)償器可直接采用雙色鏡基板,簡化結(jié)構(gòu)設(shè)計。此方案輸入與輸出路徑共線,最大輸出功率為92%,適合對光束同軸度要求較高的精密加工場景。


(三)二次偏振實(shí)施例:高純度偏振輸出方案

激光功率衰減器二次偏振實(shí)施例結(jié)構(gòu)框圖 - 廣西科毅光通信

圖3 激光功率衰減器二次偏振實(shí)施例結(jié)構(gòu)框圖 - 廣西科毅光通信

該方案采用“雙色鏡+雙色鏡一”的雙鏡片組合,可調(diào)器件包含光束阻擋件與雙色鏡一(同樣以布魯斯特角取向)。光束經(jīng)第一次偏振分離后,S偏振光束被反射至雙色鏡一,再次實(shí)現(xiàn)S偏振高反射、P偏振高透射的分離,最終輸出高純度S偏振光束。此方案最大輸出功率提升至99%,偏振對比度是基礎(chǔ)實(shí)施例的2倍,最小傳輸功率更小,功率調(diào)節(jié)范圍更寬,適用于對偏振純度要求嚴(yán)格的科研實(shí)驗場景。


(四)多鏡片優(yōu)化實(shí)施例:極致性能方案

激光功率衰減器多鏡片優(yōu)化實(shí)施例結(jié)構(gòu)框圖 - 廣西科毅光通信

圖4 激光功率衰減器多鏡片優(yōu)化實(shí)施例結(jié)構(gòu)框圖 - 廣西科毅光通信

作為性能最優(yōu)的實(shí)施例,該方案配置“雙色鏡+雙色鏡一+雙色鏡二+雙色鏡三”的四鏡片組合,所有鏡片均以布魯斯特角取向。光束經(jīng)四次偏振分離與反射,最終輸出的光束與入射光束共線,空間位移最小。其核心優(yōu)勢包括:最大輸出功率達(dá)98%,偏振對比度是二次偏振實(shí)施例的10倍,最小功率可低至0.000256%,功率調(diào)諧范圍覆蓋0.000256%-98%,且激光功率損失顯著低于其他方案,適用于高端精密加工、半導(dǎo)體制造等對性能要求極致的場景。


(五)衰減器結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié)圖示(圖3-5、圖8)

激光功率衰減器透視圖 - 廣西科毅光通信

圖5 激光功率衰減器透視圖 - 廣西科毅光通信

激光功率衰減器左視圖 - 廣西科毅光通信

圖6 激光功率衰減器左視圖 - 廣西科毅光通信

激光功率衰減器俯視圖 - 廣西科毅光通信

圖7 激光功率衰減器俯視圖 - 廣西科毅光通信

上述三圖詳細(xì)展示了衰減器的實(shí)體結(jié)構(gòu),清晰呈現(xiàn)了偏振旋轉(zhuǎn)器、旋鈕、保護(hù)罩、可調(diào)器件的安裝位置與裝配關(guān)系,直觀體現(xiàn)了設(shè)備的緊湊化設(shè)計與操作便捷性。

激光功率衰減器多雙色鏡核心結(jié)構(gòu)框圖 - 廣西科毅光通信

圖8 激光功率衰減器多雙色鏡核心結(jié)構(gòu)框圖 - 廣西科毅光通信

該圖進(jìn)一步明確了多雙色鏡組合的光學(xué)連通關(guān)系,為技術(shù)人員理解光束傳輸路徑與偏振分離原理提供了清晰參考。


(六)各實(shí)施例性能核心對比

通過對四大核心實(shí)施例的測試對比(基于266nm波長、入射角56°,雙色鏡特性:Rs=99.5%、Rp=4.0%、Tp=96.0%、Ts=0.5%),關(guān)鍵性能指標(biāo)如下:

能指標(biāo)

基礎(chǔ)實(shí)施例(圖1)

偏移補(bǔ)償實(shí)施例(圖2)

二次偏振實(shí)施例(圖3)

多鏡片優(yōu)化實(shí)施例(圖4)

最大輸出功率

96%

92%

99%

98%

偏振對比度

5.2×10?3

2.7×10??

優(yōu)于圖1(2倍)

優(yōu)于圖3(10倍)

最小輸出功率

-

0.0027%

-

0.000256%

功率調(diào)諧范圍

0.52%-96%

-

更寬于圖1

0.000256%-98%(最寬)

光束路徑特性

輸出相對輸入偏移

輸入輸出共線

輸出相對輸入偏移

輸入輸出共線(位移最?。?/span>

從對比結(jié)果可見,多鏡片優(yōu)化實(shí)施例(圖7)在偏振對比度、最小輸出功率及調(diào)諧范圍上表現(xiàn)最優(yōu);二次偏振實(shí)施例(圖6)在最大輸出功率上占據(jù)優(yōu)勢;偏移補(bǔ)償實(shí)施例(圖2)適合對光束同軸度有要求的場景;基礎(chǔ)實(shí)施例(圖1)則以簡潔性適配通用場景,各方案可滿足不同行業(yè)的差異化需求。


三、產(chǎn)品核心競爭優(yōu)勢

(一)高偏振對比度,輸出穩(wěn)定性強(qiáng)

通過半波片精準(zhǔn)調(diào)節(jié)偏振態(tài),搭配高反射/透射特性的雙色鏡(S偏振反射率≥99.5%,P偏振透射率≥96%),實(shí)現(xiàn)偏振分離的高效性與準(zhǔn)確性。多鏡片組合方案的偏振對比度更是達(dá)到行業(yè)領(lǐng)先水平,確保輸出光束的偏振純度,避免因偏振干擾影響作業(yè)精度,尤其適配對光束穩(wěn)定性要求嚴(yán)苛的精密加工與科研場景。

(二)寬功率調(diào)諧范圍,適配性廣

功率調(diào)節(jié)覆蓋0.000256%-98%,可實(shí)現(xiàn)從極低功率到近滿功率的連續(xù)調(diào)節(jié),無需更換設(shè)備即可滿足不同作業(yè)需求——無論是微焊接所需的中高功率,還是精密刻蝕所需的極低功率,均可通過旋鈕或自動化控制系統(tǒng)精準(zhǔn)適配,大幅提升設(shè)備利用率。

(三)低功率損失,能效比高

相較于傳統(tǒng)衰減器,本產(chǎn)品通過優(yōu)化偏振調(diào)節(jié)機(jī)制與鏡片組合設(shè)計,有效降低激光傳輸過程中的功率損耗。尤其是多鏡片優(yōu)化方案,在多次偏振分離后仍能保持98%的最大輸出功率,減少能源浪費(fèi),降低長期使用成本。

(四)安全防護(hù)到位,操作更可靠

衰減器外圍設(shè)置專用保護(hù)罩,且罩體集成光束阻擋件,可有效攔截意外透射的紫外光束,避免對操作人員與周邊設(shè)備造成損傷。同時,設(shè)備結(jié)構(gòu)設(shè)計緊湊,旋鈕調(diào)節(jié)便捷,也可升級為帶傳感器與電機(jī)的自動化裝置,通過感知輸出功率自動調(diào)節(jié)偏振態(tài),進(jìn)一步提升操作安全性與精準(zhǔn)度。

(五)靈活配置方案,適配多場景需求

提供四種核心實(shí)施例及多種可調(diào)器件組合,可根據(jù)用戶的光束路徑要求、偏振純度需求、功率調(diào)節(jié)范圍等個性化需求,定制專屬解決方案。無論是通用工業(yè)場景、高端精密制造,還是科研實(shí)驗領(lǐng)域,均能找到適配的配置方案。


四、行業(yè)應(yīng)用場景拓展

(一)精密加工領(lǐng)域

在電子元件微焊接、醫(yī)療器械精密鉆孔、汽車零部件精細(xì)切割等場景中,紫外激光的高能量特性可實(shí)現(xiàn)微小區(qū)域的精準(zhǔn)加工。本激光功率衰減器可根據(jù)加工材料(如金屬、陶瓷、聚合物)與加工精度要求,靈活調(diào)節(jié)激光功率,避免因功率過高導(dǎo)致材料變形、燒焦,或功率過低影響加工效率,大幅提升加工良率。

(二)半導(dǎo)體制造領(lǐng)域

半導(dǎo)體芯片制造過程中,光刻、刻蝕等工序?qū)す夤馐钠窦兌扰c功率穩(wěn)定性要求極高。多鏡片優(yōu)化實(shí)施例的高偏振對比度與低功率波動特性,可確保光刻圖案的精準(zhǔn)度,減少芯片制造誤差,助力提升半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能與可靠性。

(三)科研實(shí)驗領(lǐng)域

高校、科研機(jī)構(gòu)在光學(xué)實(shí)驗、激光物理研究等項目中,常需對紫外激光功率進(jìn)行精細(xì)化、寬范圍調(diào)節(jié)。本產(chǎn)品的寬調(diào)諧范圍與高調(diào)節(jié)精度,可滿足不同實(shí)驗場景的需求,同時其結(jié)構(gòu)透明、可擴(kuò)展性強(qiáng),便于科研人員根據(jù)實(shí)驗需求進(jìn)行二次開發(fā)。

(四)其他特種應(yīng)用領(lǐng)域

在紫外激光檢測、激光醫(yī)療、航空航天零部件加工等特種領(lǐng)域,本產(chǎn)品的安全防護(hù)設(shè)計與穩(wěn)定性能可充分適配嚴(yán)苛的使用環(huán)境。例如,激光醫(yī)療中可精準(zhǔn)控制紫外激光功率,避免對人體組織造成過度損傷;航空航天領(lǐng)域可滿足高精度零部件加工的嚴(yán)格要求。


激光功率衰減器作為激光應(yīng)用系統(tǒng)的核心調(diào)節(jié)部件,其性能直接影響整個系統(tǒng)的作業(yè)效率與精度。廣西科毅光通信推出的這款紫外激光功率衰減器,通過創(chuàng)新的偏振調(diào)節(jié)機(jī)制、多維度的實(shí)施例設(shè)計與完善的安全防護(hù),實(shí)現(xiàn)了高偏振對比度、寬調(diào)諧范圍、低功率損失的核心優(yōu)勢,完美破解了紫外激光功率調(diào)節(jié)的行業(yè)痛點(diǎn)。


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(注:本文部分內(nèi)容由AI協(xié)助習(xí)作,僅供參考)